BS-4020A Trinocular Industrial Wafer Inspection smásjá
Inngangur
BS-4020A iðnaðar skoðunarsmásjá hefur verið sérstaklega hönnuð fyrir skoðanir á mismunandi stærðum oblátum og stórum PCB. Þessi smásjá getur veitt áreiðanlega, þægilega og nákvæma athugunarupplifun. Með fullkomlega framkvæmda uppbyggingu, háskerpu sjónkerfi og vinnuvistfræðilegu stýrikerfi, gerir BS-4020 sér grein fyrir faglegri greiningu og uppfyllir ýmsar þarfir rannsókna og skoðunar á oblátum, FPD, hringrásarpakka, PCB, efnisfræði, nákvæmni steypu, málmkeramik, nákvæmnismót, hálfleiðara og rafeindatækni o.fl.
1. Fullkomið smásjá lýsingarkerfi.
Smásjáin kemur með Kohler lýsingu, gefur bjarta og einsleita lýsingu um allt útsýnisviðið. Samræmd við óendanlegt sjónkerfi NIS45, háu NA og LWD markmiði, er hægt að útvega fullkomna smásæmynd.
Eiginleikar
Björt svið endurspeglaðrar lýsingar
BS-4020A samþykkir frábært óendanlegt sjónkerfi. Skoðunarsviðið er einsleitt, bjart og með mikla litafjölgun. Það er hentugur til að fylgjast með ógegnsæjum hálfleiðarasýnum.
Dökkur völlur
Það getur áttað sig á háskerpumyndum við athugun á dökkum vettvangi og viðvarandi skoðun með mikilli næmni fyrir göllum eins og fínum rispum. Það er hentugur fyrir yfirborðsskoðun á sýnum með miklar kröfur.
Björt svið sendrar lýsingar
Fyrir gagnsæ sýni, eins og FPD og sjónræna þætti, er hægt að framkvæma björtu sviðsathugunina með eimsvala sent ljóss. Það er einnig hægt að nota með DIC, einfaldri skautun og öðrum fylgihlutum.
Einföld pólun
Þessi athugunaraðferð er hentug fyrir tvíbrjótandi sýni eins og málmvinnsluvef, steinefni, LCD og hálfleiðara efni.
Endurskin lýsing DIC
Þessi aðferð er notuð til að fylgjast með litlum mun á nákvæmnismótum. Athugunartæknin getur sýnt örlítinn hæðarmun sem ekki er hægt að sjá á venjulegan athugunarhátt í formi upphleyptrar og þrívíddar mynda.
2. Hágæða hálf-APO og APO Bright field & Dark field markmið.
Með því að samþykkja fjöllaga húðunartækni getur NIS45 röð hálf-APO og APO hlutlæg linsa bætt upp kúlulaga frávik og litfrávik frá útfjólubláu til nálægt innrauða. Hægt er að tryggja skerpu, upplausn og litaútgáfu myndanna. Hægt er að fá myndina með hárri upplausn og flatri mynd fyrir mismunandi stækkun.
3. Stýriborðið er fyrir framan smásjána, þægilegt í notkun.
Stjórnborð vélbúnaðarins er staðsett framan á smásjánni (nálægt stjórnandanum), sem gerir aðgerðina hraðari og þægilegri þegar sýnishornið er skoðað. Og það getur dregið úr þreytu sem stafar af langvarandi athugun og fljótandi ryki sem stafar af miklu hreyfingarsviði.
4. Ergo hallandi þríhyrningslaga skoðunarhaus.
Ergo hallandi skoðunarhausinn getur gert athugunina þægilegri til að lágmarka vöðvaspennu og óþægindi af völdum langrar vinnu.
5. Fókusbúnaður og fínstillingarhandfang á sviðinu með lágri handstöðu.
Fókusbúnaðurinn og fínstillingarhandfangið á sviðinu samþykkja lága handstöðuhönnun, sem er í samræmi við vinnuvistfræðilegu hönnunina. Notendur þurfa ekki að rétta upp hendur þegar þeir starfa, sem gefur mesta þægilega tilfinningu.
6. Sviðið er með innbyggt handfangi.
Gripandi handfangið getur gert sér grein fyrir hröðum og hægum hreyfingum sviðsins og getur fljótt fundið stór svæðissýni. Það verður ekki lengur erfitt að staðsetja sýnin fljótt og nákvæmlega þegar þau eru notuð samhliða fínstillingarhandfanginu á sviðinu.
7. Hægt er að nota yfirstærð svið (14 "x 12") fyrir stórar oblátur og PCB.
Svæði öreinda- og hálfleiðarasýnishorna, sérstaklega obláta, hafa tilhneigingu til að vera stór, þannig að venjulegt málmfræðileg smásjástig getur ekki uppfyllt athugunarþörf þeirra. BS-4020A er með yfirstærð sviði með miklu hreyfisviði og það er þægilegt og auðvelt að færa það til. Svo það er tilvalið tæki til smásjárskoðunar á iðnaðarsýnum á stóru svæði.
8. 12” diskahaldari fylgir smásjánni.
Hægt er að fylgjast með 12 tommu skúffu og smærri skúffu með þessari smásjá, með hröðu og fínu stigi handfangi, getur það bætt vinnuskilvirkni til muna.
9. Anti-truflanir hlífðarhlíf getur dregið úr ryki.
Iðnaðarsýni ættu að vera langt í burtu frá fljótandi ryki og smá ryk getur haft áhrif á gæði vöru og prófunarniðurstöður. BS-4020A er með stórt svæði af andstæðingur-truflanir hlífðarhlíf, sem getur komið í veg fyrir fljótandi ryk og fall ryk til að vernda sýnin og gera prófunarniðurstöðuna nákvæmari.
10. Lengri vinnufjarlægð og hátt NA markmið.
Rafeindaíhlutir og hálfleiðarar á sýnishornum hringrásarborðs eru með hæðarmun. Þess vegna hafa markmið um langa vinnufjarlægð verið samþykkt á þessari smásjá. Á sama tíma, til að fullnægja háum kröfum iðnaðarsýnanna um litafjölgun, hefur fjöllaga húðunartæknin verið þróuð og endurbætt í gegnum árin og BF&DF hálf-APO og APO markmið með háum NA eru samþykkt, sem geta endurheimt raunverulegan lit sýna. .
11. Ýmsar athugunaraðferðir geta uppfyllt fjölbreyttar prófunarkröfur.
| Lýsing | Bjartur völlur | Myrkur völlur | DIC | Flúrljós | Skautað ljós |
| Endurspeglað lýsing | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
| Send lýsing | ○ | - | - | - | ○ |
Umsókn
BS-4020A iðnaðar skoðunarsmásjá er tilvalið tæki fyrir skoðanir á flísum af ýmsum stærðum og stórum PCB. Þessi smásjá er hægt að nota í háskólum, rafeindatækni og flísverksmiðjum til rannsókna og skoðunar á flísum, FPD, hringrásarpakka, PCB, efnisfræði, nákvæmni steypu, málmkeramik, nákvæmnismót, hálfleiðara og rafeindatækni o.fl.
Forskrift
| Atriði | Forskrift | BS-4020A | BS-4020B | |
| Sjónkerfi | NIS45 óendanlega litaleiðrétt sjónkerfi (rörlengd: 200 mm) | ● | ● | |
| Skoðunarhaus | Ergo Trinocular Head með halla, stillanlegt 0-35° hallandi, fjarlægð milli pupillar 47mm-78mm; skiptingarhlutfall Augngler: þríhyrningur=100:0 eða 20:80 eða 0:100 | ● | ● | |
| Seidentopf Trinocular Head, 30° hallandi, fjarlægð milli pupillar: 47mm-78mm; skiptingarhlutfall Augngler: þríhyrningur=100:0 eða 20:80 eða 0:100 | ○ | ○ | ||
| Seidentopf sjónaukahaus, 30° hallandi, fjarlægð milli pupilla: 47mm-78mm | ○ | ○ | ||
| Augngler | Ofurbreitt sjóngler SW10X/25mm, díoptri stillanleg | ● | ● | |
| Ofurbreitt sjóngler SW10X/22mm, díoptri stillanleg | ○ | ○ | ||
| Sérstaklega breitt sjóngler EW12.5X/17.5mm, díoptri stillanleg | ○ | ○ | ||
| Augngler með breiðu sviði WF15X/16mm, díoptri stillanleg | ○ | ○ | ||
| Augngler með breiðu sviði WF20X/12mm, díoptri stillanleg | ○ | ○ | ||
| Markmið | NIS45 Infinite LWD Plan Semi-APO Markmið (BF & DF), M26 | 5X/NA=0,15, WD=20mm | ● | ● |
| 10X/NA=0,3, WD=11mm | ● | ● | ||
| 20X/NA=0,45, WD=3,0mm | ● | ● | ||
| NIS45 Infinite LWD Plan APO Markmið (BF & DF), M26 | 50X/NA=0,8, WD=1,0mm | ● | ● | |
| 100X/NA=0,9, WD=1,0mm | ● | ● | ||
| NIS60 Infinite LWD Plan Semi-APO Objective (BF), M25 | 5X/NA=0,15, WD=20mm | ○ | ○ | |
| 10X/NA=0,3, WD=11mm | ○ | ○ | ||
| 20X/NA=0,45, WD=3,0mm | ○ | ○ | ||
| NIS60 Infinite LWD Plan APO Markmið (BF), M25 | 50X/NA=0,8, WD=1,0mm | ○ | ○ | |
| 100X/NA=0,9, WD=1,0mm | ○ | ○ | ||
| Nefstykki | Afturábak sextúpu nefstykki (með DIC rauf) | ● | ● | |
| Eimsvala | LWD eimsvala NA0.65 | ○ | ● | |
| Send lýsing | 40W LED aflgjafi með ljósleiðara ljósleiðara, stillanleg styrkleiki | ○ | ● | |
| Endurspeglað lýsing | Endurskinsljós 24V/100W halógenlampi, Koehler lýsing, með 6 stöðu virkisturn | ● | ● | |
| 100W halógen lampahús | ● | ● | ||
| Endurspeglað ljós með 5W LED lampa, Koehler lýsingu, með 6 stöðu virkisturn | ○ | ○ | ||
| BF1 björtu sviði mát | ● | ● | ||
| BF2 björtu sviði mát | ● | ● | ||
| DF dökk sviði mát | ● | ● | ||
| Innbyggð ND6, ND25 sía og litaleiðréttingarsía | ○ | ○ | ||
| ECO aðgerð | ECO aðgerð með ECO hnappi | ● | ● | |
| Einbeiting | Koaxial gróf og fín fókus í lágri stöðu, fínskipting 1μm, Hreyfisvið 35mm | ● | ● | |
| Sviði | 3 laga vélrænt stig með handfangi, stærð 14"x12" (356mmx305mm); hreyfisvið 356mmX305mm; Ljósasvæði fyrir sent ljós: 356x284mm. | ● | ● | |
| Oblátuhaldari: hægt að nota til að halda 12" oblátu | ● | ● | ||
| DIC Kit | DIC Kit fyrir endurkasta lýsingu (hægt að nota fyrir 10X, 20X, 50X, 100X markmið) | ○ | ○ | |
| Skautunarsett | Polarizer fyrir endurkasta lýsingu | ○ | ○ | |
| Greiningartæki fyrir endurkasta lýsingu, 0-360° snúanlegt | ○ | ○ | ||
| Polarizer fyrir senda lýsingu | ○ | ○ | ||
| Greinari fyrir senda lýsingu | ○ | ○ | ||
| Aðrir fylgihlutir | 0,5X C-festing millistykki | ○ | ○ | |
| 1X C-festingar millistykki | ○ | ○ | ||
| Rykhlíf | ● | ● | ||
| Rafmagnssnúra | ● | ● | ||
| Kvörðunarrennibraut 0,01mm | ○ | ○ | ||
| Sýnispressari | ○ | ○ | ||
Athugið: ● Venjulegur búningur, ○ Valfrjálst
Dæmi um mynd
Stærð
Eining: mm
Kerfismynd
Vottorð
Logistics
